Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.359-360
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Analysis of AE Signals on CMP Process using FFT Method

CMP 공정중 발생하는 AE 신호의 FFT 분석

박선준 (부산대학교 기계공학부) ;
박범영 (부산대학교 기계공학부) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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