Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.309-310
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
Active Vibration Isolation System Using Voice Coil Actuators for AFM
AFM용 보이스 코일 구동 방식의 능동 방진 시스템 연구
- Published : 2008.06.11