Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2008.06a
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  • Pages.69-70
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  • 2008
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Optimal Design of Controller for UHV Dual-Stage

고진공 듀얼스테이지의 제어기 최적설계

  • 남경태 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
  • 심준홍 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
  • 강은구 (한국생산기술연구원 생산공정기술본부) ;
  • 홍원표 (한국생산기술연구원 생산공정기술본부) ;
  • 이상무 (한국생산기술연구원 로봇기술본부)
  • Published : 2008.06.11
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Abstract

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