Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.59-60
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study of efficiency fabrication process for simple cantilever MEMS switch

단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발

성기은 (한양대학교 기계공학부) ;
유지영 (한양대학교 기계공학부) ;
이세헌 (한양대학교 기계공학부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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