Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
- /
- Pages.376-376
- /
- 2008
반도체 공정용 드라이펌프의 저소비 전력 특성 분석
-
Im, Jong-Yeon
;
-
Jeong, Wan-Seop
;
- Choe, Hak-Yong ;
- Park, Sang-Myeong ;
- Mun, Byeong-Hun ;
-
Sin, Yong-Hyeon
-
임종연
(한국표준과학연구원) ;
-
정완섭
(한국표준과학연구원) ;
- 최학용 (건양대학교) ;
- 박상명 (한국연합대학원) ;
- 문병훈 ((주)삼성전자 생산기술2팀) ;
-
신용현
(한국표준과학연구원)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords