Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.369-369
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- 2008
Investigation of a set procedure for the stability of pressure control in the newly developed flow-control system
- Maqsood, Muhammad ;
- Hong, Gi-Seong ;
- Lee, Gyu-Chan ;
- Kim, Jin-Tae ;
- Im, In-Tae ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Jeong, Won-Ho (VTS company) ;
- Hong, Seung-Su
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- 홍기성 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 이규찬 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 임인태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 정원호 ;
- 홍승수 (한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords