Investigation of a set procedure for the stability of pressure control in the newly developed flow-control system

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  • 홍기성 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 이규찬 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 김진태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 정원호 ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공센터)
  • Published : 2008.02.14