Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.369-369
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- 2008
Investigation of a set procedure for the stability of pressure control in the newly developed flow-control system
- Maqsood, Muhammad ;
- Hong, Gi-Seong ;
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Lee, Gyu-Chan
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Kim, Jin-Tae
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Im, In-Tae
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Sin, Yong-Hyeon
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- Jeong, Won-Ho (VTS company) ;
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Hong, Seung-Su
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- 홍기성 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
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이규찬
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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김진태
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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임인태
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
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신용현
(한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 정원호 ;
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홍승수
(한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords