Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.351-351
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- 2008
Spectroscopic Ellipsometry를 이용한 Critical Dimension 구조 분석
- Byeon, Jun-Seok ;
- Gong, Tae-Ho ;
- Han, Seung-Ho ;
- Jeong, Jin-Mo ;
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Kim, Yeong-Dong
;
- Yu, Lee-In ;
- Park, Gyu-Chang
- 변준석 (경희대학교 물리학과 나노광물성연구실) ;
- 공태호 (경희대학교 물리학과 나노광물성연구실) ;
- 한승호 (경희대학교 물리학과 나노광물성연구실) ;
- 정진모 (경희대학교 물리학과 나노광물성연구실) ;
-
김영동
(경희대학교 물리학과 나노광물성연구실)
;
- 유이인 (경희대학교 정보디스플래이학과) ;
- 박규창 (경희대학교 정보디스플래이학과)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords