Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔으로 제조된 다이아몬드상 탄소 박막의 조도에 미치는 Si Interlayer의 영향

  • 정재인 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터) ;
  • 박영희 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소)
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

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