Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

초박막 절연층을 가진 금속-절연체-금속 소자에서 Al과 Nb 전극에 따른 터널링 누설 전류 특성 연구

  • 정현태 (동국대학교 반도체 과학과) ;
  • 김용민 (동국대학교 반도체 과학과) ;
  • 정규호 (동국대학교 반도체 과학과) ;
  • 정웅 (동국대학교 반도체 과학과) ;
  • 김형상 (동국대학교 물리학과) ;
  • 임현식 (동국대학교 반도체 과학과)
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

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