ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리

• Lee, Du-Hyeong ;
• Lee, Seok-Gwan ;
• Gwon, Sae-Rom ;
• Hong, Jin-Seok ;
• Jeong, Bo-Hyeon ;
• Kim, Hui-Su ;
• Kim, Yong-Min ;
• Hyeon, Jun-Won ;
• No, Seung-Jeong

• 이두형 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 이석관 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 권새롬 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 홍진석 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 정보현 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 김희수 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 김용민 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 현준원 (단국대학교 응용물리학과) ;
• 노승정 (단국대학교 응용물리학과)

• Published : 2008.02.14

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