Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effect of F-based Neutral beam treatment on $Al_2O_3$ Gate Dielectrics

  • 김성우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

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