Dual Target Sputtering법으로 제작된 투명 트랜지스터용 InGaZnSnO 박막의 전기적, 구조적, 광학적 특성 연구

  • 송미진 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 정진아 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 김한기 (금오공과대학교 정보나노소재공학과)
  • Published : 2008.02.14