한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Characterization of a Microwave Plasma Source using Cavity Resonator

  • 김현태 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 박용신 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 성충기 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 황용석 (서울대학교 에너지시스템공학부)
  • 발행 : 2008.02.14
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