Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Roll-to-Roll facing target sputtering을 이용하여 PET 기판위에 성막한 ITO 박막의 특성 연구

  • 조성우 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 최광혁 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 정진아 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) ;
  • 김봉석 ((주)지.텍 평판디스플레이연구소) ;
  • 최문하 ((주)지.텍 평판디스플레이연구소) ;
  • 김한기 (금오공과대학교 정보나노소재공학과)
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

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