Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.194-194
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- 2008
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $SiH_4/O_2$ /Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords