Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

타겟-모재간 거리 제어에 따른 CrN 코팅막 합성 및 물성에 관한 연구

  • 박종인 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 명현식 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 김은영 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 전유택 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 나상묵 (현대하이스코 기술연구소)
  • Published : 2008.02.14
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