Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.179-179
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- 2008
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O$_2$ 조성에 따른 SiO$_2$ 박막 증착 특성 연구
- Kim, Yang-Su ;
- Lee, Jun-Hui ;
- Pham, Thuy. T.T. ;
- Im, Jong-Tae ;
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Yeom, Geun-Yeong
- 김양수 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
- 이준희 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
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- 임종태 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
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염근영
(성균관대학교 공과대학 신소재공학과)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords