한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

DC and RF Characteristics of HfO$_2$ in Metal-Insulator-Metal Capacitor

  • 박재경 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 김병균 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이을택 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • 발행 : 2008.02.14
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