Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

산소 플라즈마 식각 방법을 이용한 나노미터 규격의 금속 전극 제작

  • 김경섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2008.02.14
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords