Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

  • 임웅선 (성균관대학교 성균나노과학기술원(SAINT)) ;
  • 강세구 (성균관대학교 성균나노과학기술원(SAINT)) ;
  • 오종식 (성균관대학교 전자공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원(SAINT))
  • Published : 2008.02.14
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Abstract

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