Al 조성이 높은 Al$_x$Ga$_{1-x}$N(x=0.4-0.5)의 이온 주입법에 의한 도핑 및 활성화 연구

  • Ryu, Mi-Lee ;
  • Moore, E.A. (Air Force Institute of Technology) ;
  • Yeo, Y.K. (Air Force Institute of Technology) ;
  • Hengehold, R.L. (Air Force Institute of Technology)
  • 류미이 (강원대학교 물리학과) ;
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  • Published : 2008.02.14

Abstract

Keywords