Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.76-76
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- 2008
Al 조성이 높은 Al$_x$ Ga$_{1-x}$ N(x=0.4-0.5)의 이온 주입법에 의한 도핑 및 활성화 연구
- Ryu, Mi-Lee ;
- Moore, E.A. (Air Force Institute of Technology) ;
- Yeo, Y.K. (Air Force Institute of Technology) ;
- Hengehold, R.L. (Air Force Institute of Technology)
- 류미이 (강원대학교 물리학과) ;
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- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords