한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- Pages.243-244
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- 2008
압전방법을 이용한 광학적 원격 제어 MEMS 액추에이터
Optically Remote MEMS Actuator by Piezoelectric method
- Kang, Min-Suk (Inha Univ. electronic engineering) ;
- Cha, Doo-Yeol (Inha Univ. electronic engineering) ;
- Kim, Sung-Tae (Inha Univ. electronic engineering) ;
- Cho, Se-Jun (Inha Univ. electronic engineering) ;
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Chang, Sung-Pil
(Inha Univ. electronic engineering)
- 발행 : 2008.06.19
초록
점점 전송 기술이 발달함에 따라, 고속/대용량의 광 연결 기술이 많이 응용되고 있다. 소자들 또한 이러한 광 신호를 받기에 적합한 형태가 필요하다. 따라서 본 논문에서는, 미리 설계한 광 신호로 동작하는 PZT 액추에이터의 동작 범위와 변위를 FEM 시뮬레이션(Finite Element Method Simulation)을 통해 해석해 보니 10V 전압에서 532nm의 변위를 확인할 수 있었고, 또한 열적, 기계적, 전기적 해석을 통하여 차후 제작에 감안할 점들을 찾아내는데 주안점을 두었다.