Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.181-181
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- 2008
Friction Force Microscopy Analysis of Diamond-like Carbon Films
다이아몬드상 카본 박막의 Friction Force Microscopy 분석
- Choi, Won-Seok (Hanbat Nat'l Univ.) ;
- Lee, Jong-Hwan (Hanbat Nat'l Univ.) ;
- Song, Beom-Young (Hanbat Nat'l Univ.) ;
- Heo, Jin-Hee (KOSEF) ;
- You, Jin-Soo (KIER) ;
- Hong, Byung-You (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2008.06.19
Abstract
DLC (Diamond-like Carbon) 박막은 높은 내마모성과 낮은 마찰 계수, 화학적 안정성 및 적외선 영역에서의 높은 투과율과 낮은 광 반사도, 높은 전기저항과 낮은 유전율, 전계방출특성 등 여러 가지 장점을 가진 물질이다[1]. 최근에는 DLC 박막의 여러 장점들과 산과 염기 유기용매에 대한 화학적 안정성으로 인하여 인조관절에서 인공심장의 판막에 이르기까지 의공학 관련 부품소재로 응용되고 있으며 내구성과 안정성에 있어서 탁월한 성능을 보여주고 있다. 또한 DLC 박막의 높은 경도와 낮은 마찰 계수, 부드러운 박막 표면 (수nm의 RMS 거칠기)의 장점을 살려 마그네틱 미디어와 하드디스크의 슬라이딩 표면에 사용되어지고, MEMS (Micro-Electro Mechanical System) 소자와 MMAs (Moving Mechanical Assemblies)의 고체윤활코팅으로 활용하여 미세기계의 내구성과 성능 향상을 도모할 수 있다. 이와 같이 DLC 박막은 다양한 분야에 응용되고 있으며, 박막이 지닌 여러 가지 장점들로 인하여 더 많은 분야에 응용될 가능성을 지닌 물질이다. 그러나 수
Keywords
- DLC (Diamond-like Carbon);
- PECVD (Plasma Enhanced Vapor Deposition);
- MEMS (Micro Electro Mechanical System);
- FFM (Friction Force Microscope)