Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.139-140
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- 2008
The characteristics of MINOS structure with $CeO_2$ thin flim
$CeO_2$ 박막을 이용한 MINOS 구조의 특성
- Cho, Jae-Hyun (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kyung, Do-Hyun (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Heo, Jong-Kyu (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Han, Kyu-Min (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Yi, Jun-Sin (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2008.06.19
Abstract
최근 누설전류를 줄이기 위해서 게이트 산화막에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 게이트 산화막에 유전상수가 큰 high-k 물질을 적용시킴으로서 누설 전류를 줄일 수 있어 특성의 향상을 가져다 줄 수 있다. 본 연구에서는 여러 high-k 물질중