한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.430-430
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- 2008
IBC형 태양전지 제작을 위한 p-a-Si:H 증착층의 파이버 레이저 가공에 관한 연구
Study on Fiber Laser Annealing of p-a-Si:H Deposition Layer for the Fabrication of Interdigitated Back Contact Solar Cells
- 김성철 (성균관대학교) ;
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이영석
(성균관대학교) ;
- 한규민 (성균관대학교) ;
- 문인용 (성균관대학교) ;
- 권태영 (성균관대학교) ;
- 경도현 (성균관대학교) ;
- 김영국 (성균관대학교) ;
- 허종규 (성균관대학교) ;
- 윤기찬 (성균관대학교) ;
-
이준신
(성균관대학교)
- Kim, Sung-Chul (Sungkyunkwan Univ.) ;
-
Lee, Young-Seok
(Sungkyunkwan Univ.) ;
- Han, Kyu-Min (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Moon, In-Yong (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kwon, Tae-Young (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kyung, Do-Hyun (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Young-Kuk (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Heo, Jong-Kyu (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Yoon, Ki-Chan (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Yi, Jun-Sin
(Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
Using multi plasma enhanced chemical vapor deposition system (Multi-PECVD), p-a-Si:H deposition layer as a