한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.150-150
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- 2008
Wet chemistry damage가 Nanopatterned p-ohmic electrode의 전기적/구조적 특성에 미치는 영향
Influence of Wet Chemistry Damage on the Electrical and Structural Properties in the Wet Chemistry-Assisted Nanopatterned Ohmic Electrode
- Lee, Young-Min (Yeungnam University) ;
- Nam, Hyo-Duk (Yeungnam University) ;
- Jang, Ja-Soon (Yeungnam University) ;
- Kim, Sang-Mook (Korea Photonics Technology Institute) ;
- Baek, Jong-Hyub (Korea Photonics Technology Institute)
- 발행 : 2008.11.06
초록
본 연구에서는 Wet chemistry damage가 Nanopatterned p-ohmic electrode에 미치는 영향을 연구하였다. Nanopattern은 Metal clustering을 이용하여, P-GaN와 Ohmic형성에 유리한 Pd을 50