한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.37-37
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- 2008
에어로졸데포지션법을 이용한 $Al_2O_3$ -PMMA 복합체 후막의 형성에 있어 PMMA 파우더의 거동
Behavior of PMMA Powder in Formation of $Al_2O_3$ -PMMA Composite Thick Films Aerosol Deposition Method
- Na, Hyun-Jun (Kwangwoon Univ.) ;
- Yoon, Young-Joon (KICET) ;
- Kim, Jong-Hee (KICET) ;
- Nam, Song-Min (Kwangwoon Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
에어로졸데포지션법을 이용하여 집적화 기판을 위한