Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.31-31
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- 2008
Room-Temperature Fabrication of Barium Titanate Thin Films by Aerosol Deposition Method
에어로졸데포지션법을 이용한 $BaTiO_3$ 박막의 상온 코팅
- Oh, Jong-Min (Kwangwoon Univ.) ;
- Nam, Song-Min (Kwangwoon Univ.)
- Published : 2008.11.06
Abstract
고주파 잡음 발생과 고집적화 문제 해결을 위해 고용량 디커플링 캐패시터를 기판에 내장하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 초고주파 환경에서 고용량 기판 내장형 디커플링 캐패시터로의 응용을 위해
Keywords
- Aerosol deposition method;
- $BaTiO_3$;
- Thin film;
- High leakage current;
- Embedded decoupling capacitor