한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
한국반도체및디스플레이장비학회 2008년도 춘계학술대회
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Pages.31-38
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2008
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
APTC 식각장비 개발현황과 기술적 한계 극복방안
김승기
Kim, Seung-Gi
(Adaptive Plasma Technology Corp.)
발행 : 2008.05.18
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