한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2008년도 하계학술발표회 논문집
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- Pages.387-388
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- 2008
마스크리스 노광기술 광학계의 원형필터 정렬오차에 따른 패턴의 변화
Change of the patterns under the circular filter alignment error of optical system in maskless lithography
- 발행 : 2008.07.01