Improving the surface morphologucal and electrical properties of low-pressure sputtered ITO films

  • 허명수 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 양봉섭 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 원석준 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2008.11.07