원자층증착법으로 성장된 ZnO:N 투명 TFT 활성층의 UV 처리를 통한 전기적 특성 변화

  • 임성준 (포항공과대학교 신소재 공학과) ;
  • 김형준 (포항공과대학교 신소재 공학과)
  • 발행 : 2008.11.07