대면적 미세형상의 고속 측정기술

Fast and large-area measurement for a microscopic surface

  • 유준호 (KAIST 기계공학과 정밀측정연구실) ;
  • 김승우 (KAIST 기계공학과 정밀측정연구실)
  • 발행 : 2008.11.12