Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2008.11a
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  • Pages.735-736
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  • 2008
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Fast and large-area measurement for a microscopic surface

대면적 미세형상의 고속 측정기술

  • 유준호 (KAIST 기계공학과 정밀측정연구실) ;
  • 김승우 (KAIST 기계공학과 정밀측정연구실)
  • Published : 2008.11.12
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Abstract

Keywords