핫엠보싱 공정을 이용한 50nm급 고분자 스탬프 제작에 관한 연구

  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 황재연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.05.22