Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발

  • 강형범 (한양대학교 바이오나노학과) ;
  • 조시형 (한양대학교 바이오나노학과) ;
  • 서정호 (한양대학교 바이오나노학과) ;
  • 조민수 (마이크로바이오칩센터) ;
  • 임현우 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2008.05.22
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Abstract

Keywords