원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구

  • 송문균 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • 발행 : 2008.05.22