Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2008.07a
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- Pages.1446-1447
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- 2008
Large Area XY Scanner with Vibration Resistance for Probe Data Storage
정보저장장치용 외란 보상형 대면적 구동기
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Lee, Kyoung-Il
(Korea Electronics Technology Institute)
;
- Kim, Seong-Hyun (Korea Electronics Technology Institute) ;
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Cho, Jin-Woo
(Korea Electronics Technology Institute)
;
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Choi, Young-Jin
(Myongji University)
- Published : 2008.07.16
Abstract
외란 보상 구조와 넓은 기록면적을 동시에 달성한 탐침형 정보저장장치용 이차원 구동기를 설계, 제작, 평가하였다. 질량 보상 구조를 기록 매체 기판 아래쪽에 배치함으로써 넓은 면적의 기록 매체 기판을 사용할 수 있도록 하였으며 유한요소해석을 통해 최적화를 하였다. MEMS 공정을 통해 정밀한 실리콘 구조물을 제작하여 구동기를 제작하였으며 선형 특성 및 동특성을 측정하였다.
Keywords