Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Gliding arc plasma application for PFCs gas decomposition

PFCs가스 분해처리를 위한 글라이딩 아크 플라즈마 응용

  • Published : 2008.07.16
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Abstract

교류 펄스전압을 이용한 글라이딩 아크 플라즈마를 이용하여 PFCs(Perfluoro compounds) 가스의 일종인 $CF_4$ $SF_6$, $NF_3$를 가스분해하는 연구를 실시하였다. 반응기 양전극 사이에 인가되는 전압은 10kV로 고정하고 각각의 가스의 유량을 조절하여 분해한후 FT-IR을 통해 각각의 가스의 분해율과 분해후 가스내 성분을 스펙트럼을 이용하여 분석하였다. 유량이 낮아질수록 분해율은 좋아졌고 $SF_6$와 $NF_3$의 경우 99%이상의 높은 분해율에 도달하였을 뿐 아니라 대표적인 난분해 가스로 손꼽히는 $CF_4$의 경우 82%이상의 분해율을 확인하였다.

Keywords