대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

노출전극 대기압 저온 마이크로 플라즈마의 개발 및 전기광학적 특성

Electro-optical characteristics of low temperature atmospheric pressure micro plasma using dielectric-free parallel electrodes

  • 하창승 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 송인철 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 임왕선 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 김동현 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 박정후 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Ha, Chang-Seung (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Song, In-Chung (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lim, Wang-Sun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Kim, Dong-Hyun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Hae June (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Ho-Jun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Park, Chung-Hoo (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University)
  • 발행 : 2008.07.16
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초록

대기압 플라즈마를 발생시키는 것은 종래의 저기압 플라즈마를 발생시키는 것 보다 대단히 어렵다. 하지만, 대기압 플라즈마는 진공장치가 필요 없고, 제작방식이 비교적 간편하며 살균, 의료, 표면처리 등 다양한 응용이 가능해서 그 잠재력이 매우 크다. 본 연구에서는 유전체가 없는 두 전극사이에서 대기압 저온 마이크로 플라즈마를 발생시켰으며, submicrosecond pulse 파형으로 glow discharge를 유지할 수 있었다. 플라즈마 소스의 전극 간격은 200[${\mu}m$]이고 방전개시전압은 약 450${\sim}$600[V]이다. 플라즈마를 발생시키기 위한 feeding gas는 He 100%이다. 본 연구에서 개발된 대기압 플라즈마는 소비전력이 2[W]미만으로 온도는 조건에 따라 40$^{\circ}C$미만으로 발생 가능하다. 또한 스펙트럼 분석 시 777nm인 산소원자의 peak이 다른 원자 혹은 분자들의 peak보다 월등히 높다.

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