Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2008.07a
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- Pages.1350-1351
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- 2008
Electro-optical characteristics of low temperature atmospheric pressure micro plasma using dielectric-free parallel electrodes
노출전극 대기압 저온 마이크로 플라즈마의 개발 및 전기광학적 특성
- Ha, Chang-Seung (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Song, In-Chung (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Lim, Wang-Sun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Kim, Dong-Hyun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Lee, Hae June (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Lee, Ho-Jun (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
- Park, Chung-Hoo (Dept. of Electrical Engineering, Pusan National University)
- 하창승 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 송인철 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 임왕선 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 김동현 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 이해준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 이호준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
- 박정후 (부산대학교 전자전기공학과)
- Published : 2008.07.16
Abstract
대기압 플라즈마를 발생시키는 것은 종래의 저기압 플라즈마를 발생시키는 것 보다 대단히 어렵다. 하지만, 대기압 플라즈마는 진공장치가 필요 없고, 제작방식이 비교적 간편하며 살균, 의료, 표면처리 등 다양한 응용이 가능해서 그 잠재력이 매우 크다. 본 연구에서는 유전체가 없는 두 전극사이에서 대기압 저온 마이크로 플라즈마를 발생시켰으며, submicrosecond pulse 파형으로 glow discharge를 유지할 수 있었다. 플라즈마 소스의 전극 간격은 200[
Keywords