한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)
권호 표지

Electron Tomography용 시편제작 방법에 따른 반도체 소자의 3차원 영상 구현

  • 손성규 (㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 백태선 (㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 김원 (㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 김호정 (㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 이순영 (㈜하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
  • 발행 : 2007.05.31
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