Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Surface Morphology Characterization of Nonpolar ZnO Thin Films Grown by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy

플라즈마 분자선 에피탁시 법으로 성장된 비극성 ZnO 박막의 표면 형상 분석

  • 이재욱 (한국과학기술원, 신소재공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원, 신소재공학과) ;
  • 한석규 (충남대학교, 재료공학과) ;
  • 홍순구 (충남대학교, 재료공학과)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

(1-102) R-면 사파이어 기판 위에 플라즈마 분자선 에피탁시 법으로 성장시킨 비극성 ZnO 박막의 표면 형상을 원자력간현미경(AFM) 및 투과전자현미경으로 분석하였다. AFM 관찰 결과 ZnO<0001> 방향으로 길쭉한 제방 모양의 표면 형상이 나타남을 알 수 있었고, 고분해능 투과전자현미경 관찰을 통해 박막 성장 중에 관찰되는 V(chevron 모양) 형상의 in-situ RHEED 패턴을 야기시키는 박막 표면의 facet 면을 원자 level에서 확인하였다.

Keywords