Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
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- Pages.145-146
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- 2007
Effects of temperature and bias voltage on mechanical properties of Cr-Si-N coatings deposited by a hybrid system
하이브리드 시스템에 의해 제조된 Cr-Si-N 박막내 바이어스와 온도에 따른 기계적 물성의 변화
- Published : 2007.04.05
Abstract
Cr-Si-N 박막은 하이브리드 코팅 시스템에 의해 온도와 바이어스의 변화에 따라 증착 되었다. 증착온도
Keywords