Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.04a
- /
- Pages.116-117
- /
- 2007
Surface morphology and electrical properties of ISZO films deposited by magnetron sputting
마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 ISZO 박막의 표면 형상 및 전기적 특성
Abstract
In-Sn-Zn-O 박막을 2개의 케소드(DC, RF)를 이용해magnetron co-sputtering법으로 polycarbonate (PC)기판위에 성막하였다. ITO와 ZnO 타겟은 각각 DC와 RF power supply에 의해 스퍼터 되었다. ISZO 박막의 가장 낮은 비저항은 RF power 55W 일 때 얻을 수 있었고, 이것은 케리어 밀도의 증가에 의한 것이라 생각되어 진다.
Keywords