Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

3D modeling of plasma characteristics for multi-segment antenna inductively coupled plasma

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

  • 양원균 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 김영욱 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 고석일 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 CVD 장치에서 플라즈마를 발생시키기 위한 안테나의 구조는 매우 중요하다. 전자 온도와 전자 밀도에 직접적인 영향을 주게 되며, 뿐만 아니라 증착 물질의 두께 균일도에 결정적인 역할을 하게 된다. 본 연구에서는 플라즈마 특성 균일도 최적화를 위하여 2turn 직렬, 병렬, 혼합의 ICP 안테나의 구조에 대하여 플라즈마 특성 및 $SiO_2$ CVD 증착 특성을 계산하였다.

Keywords