Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Microstructure and Mechanical properties of CrN / TaN superlattice thin films by CFUBMS

CrN / TaN 초격자 박막의 미세구조 및 기계적 특성

  • 변태준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 김연준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 이호영 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 김갑석 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 신윤하 (성균관대학교 트라이볼로지 연구실) ;
  • 이영제 (성균관대학교 트라이볼로지 연구실)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 CrN / TaN 초격자 박막을 합성하였으며, 각층(bilayer)의 두께(${\lambda}$)를 4.3 nm에서 43 nm까지 제어하였다. X선 회절 패턴 분석 결과, 합성된 박막의 미세구조는 CrN (200) 방향과 TaN (200) 방향으로 성장하였으며, 각층의 두께 (${\lambda}$)에 따라 최대 31.2 GPa의 경도 값을 얻었다.

Keywords