Microstructural and Mechanical Properties of CrTiAlN Nanocomposite thin films synthesis by Closed Field Unbalanced Magnetron Sputtering

비대칭 마그네트론을 이용한 CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조와 기계적 특성

  • 김연준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교) ;
  • 이호영 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 변태준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교) ;
  • 김갑석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교, 철원 플라즈마 신소재연구소) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교)
  • Published : 2007.04.05

Abstract

비대칭 마그네트론을 이용하여 사원계 CrTiAlN 나노 복합 박막을 합성하였고 합성된 박막의 특성을 분석하였다. CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조는 CrN (111)과 CrN (200)방향으로 성장하였고 기계적 특성은 $30\;{\sim}\;39\;GPa$의 경도 값을 얻었다. 질소 분압이 0.33 Pa에서 가장 높은 경도 값을 얻을 수 있었다.

Keywords