Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Synthesizing and mechanical properties evaluation of nano-multilyaered Carbon and BN film

카본 및 보론질화막의 나노다층박막 합성 및 기계적 물성 평가

  • 나종주 (한국기계연구원, 표면기술연구센터) ;
  • 문장원 (한국기계연구원, 표면기술연구센터, 동의대학교, 재료금속공학과) ;
  • 이인섭 (동의대학교, 재료금속공학과)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

카본과 BN의 합성조건을 제어하여 고경도 상과 저경도 상을 다층박막화하기 위하여 시편에 인가하는 바이어스 전압을 조절하여 박막을 합성하였다. 합성된 다층박막은 카본의 경우 흑연상을 많이 함유한 단일층 박막과 유사한 경도와 탄성계수를 보였으나 마찰계수는 $2{\sim}3$배 개선되었다. BN의 경우에도 2층박막화된 박막에서 FTIR분석 결과로는 50%이상의 c-BN이 합성된 것으로 나타났으며, 마모특성도 c-BN박막과 유사하였다.

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