Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study on the physical and corrosion properties of CrN films with nitrogen concentration

질소 인입량 조절에 따른 박막의 물성 및 부식특성에 대한 연구

  • 김은영 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 명현식 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 박종인 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 전유택 (현대하이스코 기술연구소) ;
  • 나상묵 (현대하이스코 기술연구소)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

플라즈마 코팅공정시 질소 인입량 조절에 따라 비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 CrN 박막을 합성하였으며 증착된 CrN 박막을 XRD, SEM, EDX, ESCA, 양극분극시험 등을 통하여 분석을 실시하였다. 플라즈마 공정시 챔버에 인입하는 질소량이 증가함에 따라 박막의 부식특성이 우수해짐을 확인하였다.

Keywords